自动化晶圆定向检测系统在线优化晶圆对准，大幅提升产能。在线式晶圆取向图谱分析，符合晶圆厂标准。

XRDmap Pro Wafer Edition

自动化晶圆定向检测系统

Inline wafer orientation mapping truly fab compliant

在线式晶圆取向图谱分析，符合晶圆厂标准      

Optimize wafer alignment inline for higher productivity

在线优化晶圆对准，大幅提升产能

Materials

材料

The XRDmap Pro Wafer Edition enables maximum value add by tuning subsequent processes such as epitaxy, lithography and implanting to the crystal orientation. This enables supplier process compliance and a smooth material flow by its ultra-fast measurement speed and seamless factory automation.

XRDmap Pro 晶圆版可实现价值—— 通过使外延、光刻、离子注入等后续工艺与晶体取向精确适配，凭借超高速的测量速度与无缝的工厂自动化集成能力，既能确保供应商工艺合规，又能实现物料流转顺畅高效。

Features & Benefits

重要特性与重要价值:   

Applications 应用

Precise Surface Orientation Mapping with Omega-Scan

Even within a single crystal, slight variations in crystal orientation can occur across the surface, often due to internal strains from lattice defects. Similarly, well-grown thin films can display unique in-plane orientation distributions.

即便是同一块单晶，其表面不同区域也可能存在晶体取向的细微偏差，这类偏差通常源于晶格缺陷引发的内应力。同理，生长状态良好的薄膜也会呈现出独特的面内取向分布。

Mapping such surfaces typically requires numerous measurements, and this is where the Omega-Scan method excels with its speed and efficiency. The image below illustrates an orientation map measured on a (Si, Ge) solid solution wafer, where the maximum orientation difference is just 0.03°. The concentric circles in the map correspond to the crystal’s growth rings, providing valuable insights into its structure.

对这类晶体表面进行取向测绘通常需要开展大量测量工作，而这正是Omega 扫描法的优势所在 —— 凭借其优异的检测速度与效率脱颖而出。

下方图像展示的是一块硅锗固溶体晶圆的取向分布图，该晶圆大的取向偏差只为 0.03°。图中的同心圆与晶体的生长环一一对应，为分析其晶体结构提供了重要依据。

Advantages of the Omega-Scan Method

Omega-Scan 方法重要优势 （Freiberg Instruments 重要技术）：

---Stable and Simplified Setup

The X-ray tube and detector remain fixed, requiring only a single measuring circle and no monochromator.

稳定便捷的安装调试

X 射线管与探测器固定不动，只需单次测量周期，且无需单色仪。

---Comprehensive Data Collection

All necessary data for full orientation determination is captured in just one rotation.

全方面数据采集

单次旋转即可采集全定向测定所需全部数据。

--High Precision with Minimal Measurement Time

The method delivers exceptional accuracy within a short measurement duration.

高精度・测量耗时短

短时间内即可实现优异精度。

These features make the Omega-Scan method particularly well-suited for routine measurements and industrial applications, where speed and reliability are essential.

凭借这些特性，Omega-Scan 方法尤为适配常规测量与工业应用场景 —— 这类场景对速度与可靠性有着重要要求。

Understanding the Omega-Scan Method

解读 Omega-Scan 方法

The Omega-Scan technique involves rotating the specimen 360° around a specific axis, such as the surface normal. The X-ray source and detector are positioned based on the crystal type to ensure an optimal number of reflections per turn. By analyzing the angular positions of these reflections, the crystal lattice orientation is determined in relation to the rotation axis.

Omega-Scan 技术的工作原理为：将试样绕某一特定轴（如表面法线）完成 360° 旋转，X 射线源与探测器则根据晶体类型进行定位，以确保每圈旋转均可获得优异的反射次数。通过分析这些反射信号的角度位置，即可确定晶格取向相对于旋转轴的具体方位。

To precisely align the lattice orientation with the crystal surface, a laser beam checks the surface direction. Other relevant reference planes or directions can also be measured using optical tools. This technique enables accurate orientation measurement of single crystals in any configuration, achieving a reproducibility within a few arc seconds—often in just a few seconds of measurement.

为精确校准晶格取向与晶体表面的对位关系，激光束会对晶体表面方向进行检测。其余相关参考平面或方向，亦可通过光学工具完成测量。

该技术可实现对任意形态单晶的高精度取向测量，重复性精度控制在数角秒范围内 —— 且单次测量耗时通常只需数秒。

A specialized application of the Omega-Scan method is precision lattice-parameter determination, particularly for cubic crystals, providing highly accurate structural insights.

Omega-Scan 方法的一项专业应用方向为高精度晶格参数测定，该应用尤其适用于立方晶体，可提供高精度的晶体结构解析能力。

User-Friendly and Advanced Operating Software

人性化操作软件

多种操作模式

操作员模式：采用固定测量参数设计，保障操作流程安全高效。

管理员模式：支持测量配方的创建与修改，可针对新型材料调整参数。

直观引导式操作界面

确保不同经验水平的用户，均可享受到流畅高效的操作流程。

预设配方与自定义配方双模式

既可从丰富的现成配方中直接选用，也可根据特定需求创建专属配方。

测量结果与修正值自动显示

可即时查看测量结果，同步自动生成修正值，助力晶格取向精确调校。

图谱分析功能

搭载图谱分析功能，赋能高精度测量分析工作。

数据导入导出功能

自动化晶圆定向检测系统可轻松完成数据导入导出，便于数据共享及与其他系统的集成对接。